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半导体行业废气处理

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半导体行业废气简述


半导体行业作为高新技术产业往往被人误解为 “清洁”产业,但事实上,半导体生产过 程中使用了大量有机和无机物,包括许多有毒有害物质,对环境危害较为严重,如不加以控制,将会产生较大的环境污染。

 

半导体行业废气来源


半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分。 在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。

 

半导体行业废气处理工艺


根据生产特点和相关标准,考虑安全性问题,我司建议采用活性炭吸附脱附催化燃烧工艺,废气经活性炭吸附脱附催化燃烧处理后,使废气中的 VOC 氧化分解成为无害的CO2和H2O,终达标排放。

 

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活性炭吸附脱附催化燃烧工艺原理是利用活性碳吸附废气中的VOC,当活性碳吸附饱和后,引入热风进行高温反吹脱附,脱附出来的高浓度浓缩废气进行催化燃烧处理,终被分解。通过吸附浓缩方式,加上利用催化氧化技术去除有机污染物。再通过控制温度,滞留时间,扰流废气在燃烧室内转化为二氧化碳和水气,高效提高了有机物的去除率,目标为节能稳定达标排放。

具体还需根据用户自身实际情况选择不同半导体行业的废气处理设备解决方案,做到因地制宜。我司提供量身定制符合企业自身的实惠解决方案。降价投资费用。

 

半导体行业废气处理设备特点


1、催化燃烧法,在工业上主要处理高浓度VOCs的废气,改方法的净化高,无二次污染,操纵利便,安全性好其占地面积小。

2、安全设施齐全:防火除尘器、泄压孔、超温报警等保护设施。

3、余热回收利用:余热可返回干燥路径进行干燥,减少原干燥路径的功率消耗;也可作为工厂其他方面的热源(如浴室、散热器等)。


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